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有償開放特許一覧
セラミックヒーター(通電発熱体及びそれを用いた静電チャック)

管理番号 T001

発明の名称 通電発熱体及びそれを用いた静電チャック

概要
セラミック基材の表面に抵抗発熱材料の被膜を溶融融着させた構造を有するセラミックヒーターとそれを用いた温度を急速に精密制御できる静電チャック

要約 (特許明細書和訳)
セラミック絶縁基材の上に形成された通電発熱体の脆さと高温で軟化するという欠点を解消するため、電気絶縁性で、窒化物系あるいは炭化物系セラミック基材の表面に、ミクロ組成が珪化物単体組成あるいは珪化物とSiの混在組織あるいはSi単体組織からなる抵抗発熱材料の被膜を溶融融着させた構造を採用する。
また、静電吸着した半導体基板等の被処理物の温度を急速制御、精密制御できる静電チャックを提供するため、誘電体セラミックと該セラミックの底面に形成された電極を備えてなる静電吸着機構底面に加熱機構を結合し、該加熱機構の底面に冷却機構を結合した構造を採用し、該加熱機構は、電気絶縁性で、線膨張係数が同じあるいは近似した二枚のセラミック基材の間に該セラミックに融着性の電熱材料の膜を挟み、該膜が該二枚の基材に結合あるいは溶融融着した構造とする。

セラミックヒーターに関する下記の国際特許を開放しています。
開放特許の詳細
管理番号 特許成立国 発明の名称
T001-1 米国 ELECTRIC HEATING ELEMENT


植物プランクトン繁殖抑制剤
  (植物プランクトン繁殖抑制剤及びそれを用いた水質浄化方法)


管理番号 T002

発明の名称 植物プランクトン繁殖抑制剤及びそれを用いた水質浄化方法

概要
過酸化物を含有することを特徴とする植物プランクトン繁殖抑制剤

要約 (特許明細書和訳)
本発明は、富栄養化の原因となる水中のリン成分を減少させ、植物プランクトンと藻類の繁殖を抑制する簡便な植物プランクトン繁殖抑制剤を提供すること、及び閉鎖水系の水質浄化方法を提供することを課題とする。この課題は、過酸化物、特に過酸化カルシウム及び/又は過酸化マグネシウムを植物プランクトン繁殖抑制剤の総質量に対して10〜35質量%含有させることにより達成できる。また、鉄塩、酸化鉄及び水酸化鉄から選ばれる1種以上の鉄化合物を、植物プランクトン繁殖抑制剤の総質量に対して、鉄(Fe)分換算で、0.01〜15質量%含有させると効果がさらに高まる。

植物プランクトン繁殖抑制剤に関する下記の国際特許を開放しています。
開放特許の詳細
管理番号 特許成立国 発明の名称
T002-1 日本 植物プランクトン繁殖抑制剤及びそれを用いた水質浄化方法
T002-2 欧州 PHYTOPLANKTON GROWTH INHIBITORS AND METHOD OF WATER PURIFICATION WITH THE USE OF THE SAME
T002-3 カナダ PHYTOPLANKTON GROWTH INHIBITORS AND A WATER PURIFICATION METHOD USING THE SAME
     
 



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